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2024-10-11 09:31:17
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氦质谱检测资质是指从事氦质谱检漏工作的机构或个人所需要具备的资格认证，以证明其具备相应的专业知识、技能和能力，能够准确、可靠地进行氦质谱检漏操作，并保证检测结果的准确性和可靠性。
真空法：需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气。按照施漏气体方法的不同，又可以分为真空喷吹法和真空氦罩法。真空喷吹法采用喷枪向被检产品外表面喷吹氦气，可实现漏孔精确定位；真空氦罩法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的氦气，可实现被检产品总漏率的测量。
优点：检测灵敏度高，可精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
缺点：只能实现一个大气压差的漏率检测，不能准确反映带压被检产品的真实泄漏状态。
检测标准：主要有 QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》。
应用范围：主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
正压法：需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气会通过漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸枪的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同，又可以分为正压吸枪法和正压累积法。正压吸枪法采用检漏仪吸枪对被检产品外表面进行扫描探查，可实现漏孔精确定位；正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来，采用检漏仪吸枪测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量，实现被检产品总漏率的精确测量。
优点：不需要辅助的真空系统，可精确定位，实现任何工作压力下的检测。
缺点：检测灵敏度较低，检测结果不确定度大，受测量环境条件影响大。
检测标准：主要有 QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱吸枪罩盒检漏试验方法》。
应用范围：主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。
真空压力法：需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。
优点：检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。
缺点：检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。
检测标准：GB /T 15823-2009《氦泄漏检验》。
应用范围：主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等。
背压法：浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
优点：检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
缺点：不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
检测标准：主要有 QJ3212-2005《氦质谱背压检漏方法》、GJB360A-1996《电子及电气元件试验方法方法112 密封试验》。
应用范围：主要应用于各种电子元器件产品检漏。
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。
精度高：可以达到 5E-12 mbarL/s 甚至更高的精度，可通过标准漏孔进行计量，并且重复性非常好。
快速：能够尽快定位并修复漏点，节省时间并减少报废。
可定位漏点：喷氦法、吸枪法等常见的氦质谱检漏方法可以确定泄漏的位置，便于后期处理漏孔或改进工艺。
不受温度、产品形变、内表面放气等的影响，不会弄湿或污染工件。
氦气在环境空气中含量极少（5ppm），环境本底比较低。
氦气分子很小，并且扩散很快，可以缩短检测器响应泄漏的时间。
氦气容易获取，无毒、不易燃并且属于惰性气体。
拥有氦质谱检测资质意味着能够遵循严格的标准和规范进行操作，确保检测结果的准确性和可靠性，从而保障相关产品或设备的质量和安全性。同时，这也是在相关领域开展业务、获得客户信任的重要凭证。
氦质谱检漏仪有多种分类方式，根据不同的结构和功能特点，可以分为不同的类型。其结构通常包括高真空系统、质谱室、离子源、加速电场、磁场、收集极等部分。
外界的气体进入到检漏仪质谱室后，产生离子。气体离子被加速后进入磁场，其路径会被偏转，由于不同的离子荷质比不同，偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝，就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少，即泄露率的大小成正比。通过测量该信号，就可以测量泄漏率。
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